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1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5″管式爐GSL-1100X-8.5-SR-III

簡(jiǎn)要描述:1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5″管式爐GSL-1100X-8.5-SR-III是三溫區(qū)滑軌真空管式爐,可通入混合氣體進(jìn)行低壓力化學(xué)氣相沉積處理。本機(jī)可在不同氣氛下,在Z大6″的基片上生長(zhǎng)多種薄膜。

  • 產(chǎn)品型號(hào):GSL-1100X-8.5-SR-III
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2016-04-07
  • 訪  問  量:1004

詳細(xì)介紹

 

產(chǎn)品型號(hào)

  1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5管式爐GSL-1100X-8.5-SR  -III

主要特點(diǎn)

  1、爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能。內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備     的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

  2滑軌式法蘭結(jié)構(gòu),方便取放樣品。

  3設(shè)有K型測(cè)溫?zé)犭娕己?/span>一個(gè)額外的溫度校準(zhǔn)檢測(cè)系統(tǒng)。

  4、三個(gè)加熱區(qū)域?qū)崿F(xiàn)更長(zhǎng)的溫度區(qū)和一個(gè)特定的溫度梯度。

  5、采用三個(gè)PID控制器 ,通過可控硅來進(jìn)行溫度控制,可以設(shè)置30段升降溫程序。

  6、右端法蘭裝載石英管堵,用以阻止熱輻射;左端法蘭上設(shè)有4片磨砂石英擋片,用于阻止熱輻射。

  7、已通CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源:?jiǎn)蜗?/span>220V  8KW

  2、石英管:外徑Φ216mm,內(nèi)徑Φ208mm,長(zhǎng)1300mm

  3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲

  4、加熱區(qū)域:長(zhǎng)900mm

  5、溫區(qū):3個(gè),各300mm長(zhǎng)

  6、恒溫區(qū)域500mm(三個(gè)溫區(qū)設(shè)置一樣的溫度)

  7、工作溫度:zui高1100,連續(xù)工作400-1000

  8、zui大升降溫速率:10/min

  9、控溫精度:±1

  10、真空度:10-2torr(機(jī)械泵),10-5torr(分子泵)

  11、熱偶檢測(cè)口:1個(gè)

  12、真空接口:KF-25

  13、進(jìn)氣接口:5路,精密不銹鋼針閥密封

  14、爐體:1000mm×700mm×1060mm

  15、滑軌:600mm

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:1780mm×1780mm×1650mm;重量:354kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

  石英管堵

1個(gè)

2

  KF-25真空擋板閥

1個(gè)

3

  KF-40不銹鋼波紋管

1

可選配件

  1、軟件接口模塊和PC機(jī)

  2、K型熱電偶(Φ6.35mm×915mm,用于對(duì)爐膛溫度校準(zhǔn))

  3、冷水機(jī)

 

  

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