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TFMS-LD反射光譜薄膜測(cè)厚儀

簡(jiǎn)要描述:TFMS-LD是一款反射光譜薄膜測(cè)厚儀,可快速精確地測(cè)量透明或半透明薄膜的厚度,其測(cè)量膜厚范圍為15nm-50um,儀器所發(fā)出測(cè)試光的波長(zhǎng)范圍為400nm-1100nm。此款測(cè)試系統(tǒng)理論基礎(chǔ)為鏡面反射率,并且采用光纖反射探頭。儀器尺寸小巧,方便于在實(shí)驗(yàn)室中擺放和使用。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2018-11-05
  • 訪  問  量:1153

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)

      TFMS-LD反射光譜薄膜測(cè)厚儀是一款利用反射光譜測(cè)試薄膜厚度的儀器,可快速精確地測(cè)量透明或半透明薄膜的厚度而不損傷樣品表面的薄膜,是一款無損測(cè)厚儀,其測(cè)量膜厚范圍為15nm-50um,測(cè)量膜厚范圍廣,尤其適用于超薄薄膜厚度的測(cè)量。儀器所發(fā)出測(cè)試光的波長(zhǎng)范圍為400nm-1100nm,波長(zhǎng)范圍廣,因此,測(cè)試薄膜厚度的范圍廣。TFMS-LD反射光譜薄膜測(cè)厚儀測(cè)試系統(tǒng)的理論基礎(chǔ)為鏡面光纖反射探頭,該儀器尺寸小巧可節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間,操作方便,讀數(shù)直觀,方便于在實(shí)驗(yàn)室中擺放和使用。

產(chǎn)品型號(hào)

  TFMS-LD反射光譜薄膜測(cè)厚儀

測(cè)量膜厚范圍

15nm-50um

光譜波長(zhǎng)

400 nm - 1100 nm

主要測(cè)量透明或半透明薄膜厚度

  • 氧化物

  • 氮化物

  • 光刻膠

  • 半導(dǎo)體(硅,單晶硅,多晶硅等)

  • 半導(dǎo)體化合物(ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS等)

  • 硬涂層(碳化硅,類金剛石炭)

  • 聚合物涂層(聚對(duì)二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

  • 金屬膜

         

特點(diǎn)

  • 測(cè)量和數(shù)據(jù)分析同時(shí)進(jìn)行,可測(cè)量單層膜,多層膜,無基底和非均勻膜

  • 包含了500多種材料的光學(xué)常數(shù),新材料參數(shù)也可很容易地添加,支持多重算法:

    Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等

  • 體積較小,方便擺放和操作

  • 可測(cè)量薄膜厚度,材料光學(xué)常數(shù)和表面粗糙度

  • 使用電腦操作,界面中點(diǎn)擊,即可進(jìn)行測(cè)量和分析

精度

0.01nm或0.01%

準(zhǔn)確度

0.2%或1nm

穩(wěn)定性

0.02nm或0.02%

光斑尺寸

標(biāo)準(zhǔn)3mm,可以小至3um

要求樣品大小

大于1mm

分光儀/檢測(cè)器

400 - 1100 nm 波長(zhǎng)范圍

光譜分辨率: < 1 nm

電源 100-250 VAC, 50/60 Hz 20W

 

光源

5W的鎢鹵素?zé)?/span>

色溫:2800K

使用壽命:1000小時(shí)

反射探針

光學(xué)纖維探針,400um纖維芯

配有分光儀和光源支架

載樣臺(tái)

測(cè)量時(shí)用于放置測(cè)量的樣品

 

通訊接口

USB接口,方便與電腦對(duì)接

 

TFCompanion軟件

強(qiáng)大的數(shù)據(jù)庫(kù)包含兩500多種材料的光學(xué)常數(shù)(n:折射率,K:消失系數(shù))

 

誤差分析和模擬系統(tǒng),保證在不同環(huán)境下對(duì)樣品測(cè)量的準(zhǔn)確性

可分析簡(jiǎn)單和復(fù)雜的膜系

設(shè)備尺寸

200x250x100mm

重量

4.5kg

 

 

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