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PCE-6小型等離子清洗機(jī)

簡(jiǎn)要描述:PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz( 1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。

  • 產(chǎn)品型號(hào):PCE-6
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2018-11-05
  • 訪  問(wèn)  量:3348

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間2萬(wàn)-5萬(wàn)
產(chǎn)地類(lèi)別國(guó)產(chǎn)

    PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 Ø160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。該等離子清洗機(jī)體積小,占用的空間少,可有效節(jié)約實(shí)驗(yàn)室空間。設(shè)備配有一個(gè)雙旋真空泵,可對(duì)腔體進(jìn)行抽真空,同時(shí)通入氬氣等氣體,適用于對(duì)易氧化的物品的清洗

產(chǎn)品型號(hào)

  PCE-6小型等離子清洗機(jī)

主要特點(diǎn)

  1、通過(guò)控制面板的按鍵及開(kāi)關(guān),可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開(kāi)閉、清洗時(shí)間。

  2、時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。

         

  3設(shè)有一個(gè)三通閥,可精確控制進(jìn)氣流量,以及大氣流清洗腔體,進(jìn)氣接口為6mm卡套接口

  4、選用大功率射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源:AC220V  50/60Hz

  2、輸出功率:7.2W、10.2W29.6W

  3、真空泵功率:<500W

  4、總功率:<600W

  5、射頻頻率:3.0MHz,功率3檔可手動(dòng)調(diào)節(jié)

  6、等離子腔體:高純石英腔體,Φ160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封,法蘭上設(shè)有Φ45

                                mm的觀察窗

  7、真空泵:240L/min,直連式雙旋真空泵

  8、極限真空度:50mtorr

  9、通入氣體:可通入多種氣體來(lái)產(chǎn)生等離子,如N2、ArH2、O2Air和混合氣體等(根據(jù)材料性

                            質(zhì)選定)

清洗及蝕刻

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:400mm×300mm×300mm,重量:10.2kg

可選配件

  12-6石英舟(盛放基片)

  2、2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)

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