產(chǎn)品中心
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產(chǎn)品分類(lèi)CLASSIFICATION
精密液體氣相發(fā)生器是針對(duì)實(shí)驗(yàn)室CVD實(shí)驗(yàn)中導(dǎo)入液體的系統(tǒng),其液體流量是通過(guò)數(shù)字液體泵來(lái)控制,Z大流量為80ml/min,精確度為0.005ml。液體被蠕動(dòng)泵導(dǎo)入到混氣系統(tǒng)后,被系統(tǒng)里的加熱裝置加熱成蒸汽,然后隨導(dǎo)入的氣體被帶入到爐管中。本機(jī)能夠?qū)С龆喾N液體,如ETOH、SnCl4、 TiCl4R、SiHCl3和Zn(C2H5)2,以及多種有機(jī)物混合。對(duì)于研究用CVD方法生長(zhǎng)納米線和薄膜是的研